447 完美的闭环（第2 / 3页）

“嗯？”

张如京的话，让林本建一愣，思索了一阵突然叫道：“对呀.....我干嘛学他们一样死攻157纳米？”

“157纳米只比193纳米短23％，换句话说，只能把解析度提高23％，用193纳米加水可以提高46％，几乎是两倍。因为波长只在水中变短为132纳米。光在进入水前的波长是193纳米，可以避开所有157纳米的困难，能改进46％！”

林本建越说越兴奋，猛然站了起来：“两位失陪了，我现在要去公司验证我的想法！”说完匆匆走了出去。

呵？

早知道做做功课，在网上查查这方面的资料就好了，这不又到了2000年吗？已经有网了。

卫向东心里暗暗后悔。

看到卫向东略微尴尬的表情，林本建这才意识到，对方只是个企业家，科技方面纯粹就是个门外汉！”

没准这个浸润式也不知道从哪里看到的资料，觉得好玩而已。

林本建顿时有些失望，刚准备结束这个话题，突然又听到卫向东蹦出一句话：“可以用水呀......水不是很透明吗？”

“卫先生，搞科研都是这样的怪人，你不必在意。”张如京笑着解释道：“我也跟着过去看看，没准能帮上他的忙。”

“用水？水在193纳米波长的折射率是得到1.46，但问题在于157纳米波长下水的折射率是量不出来的，因为不透光......”林本建立刻反驳。

“为啥非要用157纳米？那就用193纳米下的折光呗。”卫向东小心翼翼回答道。

“你不懂，现在的主流是157纳米......”林本建随口回答了一句。

“林先生，你忽略了一点，水的折射率在一般的波长是1.3多。所以在一般波长下用水做浸润式的介质只能改进30%多，但若改成现在可用的最短波长193纳米，1.46的折射率特性，水能把解析度增加46％，”

张如京突然插话进来，他是搞芯片制造的，当然对光刻机熟悉的再也不能熟悉，现在听到两人的对话，心里顿时有了启发，插话进来。