第187章 极紫外光源的进展（第2 / 4页）
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那为何不反过来将其吸收转化，既能大大提高利用率，也能很大程度上减少碎屑污染的问题。
接着靶材方面的话换成锡就可以了，虽然可能会产生不少碎屑，但是只要将吸收转化器做出来，基本能够搞定这个问题，而且也不会加重光源的设计难度。
“妙啊！校长，你这个想法或许具有较大的可行性！”
徐华眼睛一亮。
“这也算是一个取巧的办法，短期内可以用于去重新研究新靶材，这样也省了很多时间。”
一道熟悉的声音在他们耳边响起。
两人转过头去，原来是许黎来了。
他才从施工现场回来，想到最近的EUV光源项目研究进展，就顺道过来看看。
“校长，我们正在讨论两个光源的关键难题呢...”
李默解释道，将刚才他们讨论的问题大概说了一遍。
李默也觉得这个想法不错。
“既然如此，我们赶紧试一下，不过我对极紫外光源的一些关键技术还不是很懂，等会也只能搭把手了。”
许黎笑了笑。
虽然他从科技图书馆那里获得了几项科技，但是对于极紫外光源的深入肯定没有眼前这两位深得多。
“嗯，这的确是个问题...”
许黎摸着下巴。
“要不我们可以这样.....”
许黎提出了自己的想法。
首先，既然碎屑污染必定会产生，无论是选择哪种方案，都会不可避免地产生碎屑，很多去除碎屑的方法基本基本是阻挡缓冲的作用。